晶圆厂掺杂区，五氟化磷(PF5)一旦泄漏，遇湿即刻生成氢氟酸雾，腐蚀设备、灼伤呼吸道，却无色无味。传统巡检一天两次，数据空白23小时50分钟——这50分钟足以让整批晶圆报废，甚至触发环保罚单。某头部FAB曾因此停机72小时，损失超2 000万元，EHS总监自嘲

传感器 ppm 氟化磷 氟化磷pf5 pf5检测仪 2025-11-14 14:33  2